000 00528 a2200169 4500
003 RuMoESE
020 _a5020249610
040 _aRuMoESE
_brus
041 _arus
082 _a6
100 _aФормозов Б. Н.
245 _aВведение в криогенную микроэлектронику
260 _aСПб.
_bНаука
_c2001
300 _a327 с., 192 ил.
942 _2rubbkm
_cTXT
999 _c13956
_d13956